October 18, 2025
큰 지름의 쿼츠 유리 튜브는 일반적으로 100mm 이상의 외부 지름, 심지어 500mm 또는 더 큰 것을 의미합니다.그들은 많은 고급 산업 및 기술 분야에서 필수적인 응용 프로그램을 가지고 있습니다..
랴누앙강 Shengfan 쿼츠 제품 Co., Ltd는 전문 쿼츠 제품 제조업체입니다, 사용자 정의를 지원 할 수 있습니다.
회사는 성숙한 불 처리 생산 라인 및 R & D 팀, 큰 지름의 쿼츠 튜브 처리 생산 라인, 쿼츠 기기 생산 라인,쿼츠 보트 생산 라인이 회사는 또한 전체적인 냉 처리 장비들을 갖추고 있습니다.
큰 지름의 쿼츠 튜브 처리 생산 라인을 위해 회사는 최대 지름 OD 1000mm. 길이 5000mm를 만들 수 있습니다. 지름 관용은 +/- 0.2mm, 평면은 +/- 0.2mm입니다.
큰 지름의 쿼츠 튜브의 주요 응용 분야는 다음과 같습니다.
1반도체 산업:
칩 제조에서, 쿼츠 튜브는 확산, 산화, 고름 등과 같은 프로세스의 주요 소모 물질입니다.
· 수평 확산 오븐 튜브: 이것은 가장 고전적인 응용입니다. 큰 지름의 쿼츠 튜브는 반응 챔버로 작용하며, 실리콘 웨이퍼는 튜브 안에 배치됩니다.높은 온도 조건에서, 특수 가스 (산소, 질소, 아르곤 등) 가 실리콘 이산화 층을 형성하기 위해 열 산화를 수행하도록 삽입됩니다.또는 실리콘의 전기적 특성을 변경하기 위해 불순물을 도입합니다.오븐 튜브의 지름은 많은 양의 실리콘 웨이퍼를 운반하는 "쿼츠 보트"를 수용 할 수 있을 정도로 커야합니다.
· 수직 튜브 오븐: 기술의 발전으로 수직 프로세스가 주류가 되었습니다. 여기서는 큰 지름의 쿼츠 튜브가 프로세스 챔버로 작용합니다.그리고 실리콘 웨이퍼는 LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 및 확산과 같은 프로세스를 위해 튜브 내부에 수직으로 배치됩니다.이 공정들은 쿼츠 튜브의 둥글기, 수직성 및 본질적 품질에 대해 매우 높은 요구 사항을 갖는다.
2태양광 산업 (태양전지 제조)
반도체 산업과 마찬가지로 태양열 수준의 결정적 실리콘 세포를 제조하는 데 사용됩니다.
