October 17, 2025
석영 보트는 고순도 석영 재료로 만들어진 보트 모양의 장치로, 고온 및 부식에 강합니다. 독특한 물리적 및 화학적 특성으로 인해 다양한 첨단 기술 및 산업 분야에서 광범위하게 사용됩니다.
핵심 특성 (주요 속성)
1. 고온 저항: 1000°C 이상의 온도를 견딜 수 있으며, 반도체 확산, 산화 및 기타 공정에 적합합니다.
2. 화학적 불활성: 강산(불산 및 인산 제외) 및 부식성 가스에 매우 강합니다.
3. 낮은 열팽창 계수: 고온에서 치수 안정성을 보장하여 실리콘 웨이퍼 또는 결정의 변형을 방지합니다.
4. 고순도: 금속 불순물 함량이 매우 낮아(예: 수산기 함량 엄격 관리) 반도체 응용 분야의 요구 사항을 충족합니다.
다음은 주요 응용 분야 및 기술적 특징입니다.
1. 반도체 제조:
1. 실리콘 웨이퍼 지지 및 운송: 칩 제조 과정에서 석영 보트는 실리콘 웨이퍼를 고정하는 데 사용됩니다. 고온 공정(예: 확산, 산화 및 어닐링) 동안 안정성을 유지하여 오염 또는 변형을 방지하고 칩의 품질을 보장합니다.
2. 에칭 및 확산 공정: 에칭 머신 챔버 또는 샘플 홀더의 핵심 구성 요소로서, 석영 보트는 약 1000°C에서 석영 용광로 튜브 내에서 붕소 및 인과 같은 원소의 확산을 가능하게 하여 집적 회로의 특징 크기에 직접적인 영향을 미칩니다.
2. 태양광 산업
1. 태양광 패널 제조: 석영 보트는 태양광 재료를 고정하는 데 사용되며, 고온 처리 및 부식성 용액을 견딜 수 있어 태양 전지의 광전 변환 효율 및 수명을 향상시킵니다.
2. 실리콘 웨이퍼 확산 공정: 새로운 유형의 태양광 석영 보트는 다양한 크기의 실리콘 웨이퍼를 수용할 수 있도록 조절 가능한 기능을 갖추고 있으며, 별도 세척을 통해 청결성을 향상시켜 확산의 균일성을 최적화합니다.
3. 화학 공학 및 야금
1. 내식성 반응 용기: 반응 탱크 및 증발기의 내벽 또는 이송 장치로 사용되는 석영 보트는 고온, 고압, 강산 및 강알칼리를 견딜 수 있어 화학 장비의 안정적인 작동을 보장합니다.
2. 산성 용액 처리: 고온 및 산성 가스에 대한 연소 및 냉각 장치, 산성 용액의 증발 및 보관에 적용됩니다.
석영 보트의 핵심적인 장점은 고온 저항(최대 1000℃ 이상), 내식성(강산 및 강알칼리 견딜 수 있음), 높은 투과율에 있습니다. 이러한 특성으로 인해 반도체 및 태양광과 같은 고급 제조 분야에서 필수적인 도구가 됩니다.
