반도체 및 태양광 제조업에서 쿼츠 운반 보트 고 순도 지원 부품-MIA

Quartz carrier boats (also referred to as quartz jigs or wafer boats) are precision-engineered support fixtures fabricated from high-purity quartz materials through integral molding or precision welding processes, SiO2 순도가 99.99% 이상인 것을 달성한다. 기능적 위치에서 쿼츠 굴착판과 구별된다.쿼츠 보트는 반도체 웨이퍼를 포함한 얇은 프로필 기판에 대해 안정적인 지원과 정확한 정렬을 제공하기 위해 특별히 설계되었습니다., 광전기 실리콘 웨이퍼 및 광학 코팅 빈크는 고온 처리 주기에 사용됩니다.이 운반기는 2인치에서 12인치 웨이퍼 사양까지의 전체 크기의 구성으로 제공됩니다., 슬롯 피치 허용값이 ±0.02mm 내로 유지됩니다. 그들은 확산 오븐, 산화 튜브, LPCVD 및 PECVD 원자로와 같은 중요한 장비에서 필수적인 프로세스 운반자로 사용됩니다.열 안정성과 차원 충실성이 가장 중요할 때.

열역학 성능 및 구조 안정성

쿼츠 운반 보트는 녹은 실리카의 내재적인 열 탄력을 계승합니다.1200°C까지의 온도에서 장기적인 작동 능력을 입증하고 1300°C를 초과하는 단기적 최고 저항력을 갖춘, 5.5×10−7/°C까지 낮은 열 팽창 계수이 특별한 열 호환성은 반복되는 빠른 열 순환에서 최소한의 차원 왜곡을 보장합니다. IGBT 전력 장치에 대한 확산 및 퇴적 과정의 빈번한 요구 사항, 첨단 논리 칩, 그리고 TOPCon 태양 전지 전지. 수천 개의 열 주기에 걸쳐 정밀한 슬롯 기하학을 유지함으로써, 쿼츠 보트는 효과적으로 웨이퍼 미끄러짐,그리고 크로스 웨이퍼 접착, 따라서 대량에서 대량의 균일성 향상 및 전체 프로세스 생산량에 직접 기여합니다.

표면 청결 및 오염 관리

고품질 쿼츠 보트 제품에서는 산성 침수, 초순정수 연수 및 고온 구리 등 엄격한 정화 순서가 표면 금속 불순물 (Fe, Cu, Na,그리고 다른 과도기 금속들) 은 10억 분당 (ppb) 의 농도로슬롯과 치아 영역은 불꽃 닦거나 제어 된 HF 에치링을 받으며 표면 거칠성 (Ra) ≤ 0.4 μm의 둥근, 부러지지 않은 가장자리를 제공합니다.이것은 웨이퍼 로딩 / 로딩 작업 중에 기계적 경사 및 입자 생성을 최소화합니다.첨단 반도체 노드 (≤ 28nm 이상)선택된 공급업체는 동적 입자 부착 테스트 (SPC) 를 통해 검증된 인증된 모델을 제공하며 클래스 -1 청정실 운영 표준을 완전히 준수합니다., 미세먼지 오염이 산업에서 의무적으로 정하는 한계 내에서 잘 유지되도록 보장합니다.

정밀 가공 및 사용자 정의 능력

업계에서 선도적인 제조업체는 깊이, 너비, 크기와 크기를 포함한 모든 중요한 슬롯 매개 변수에 대한 폐쇄 루프 차원 관리를 구현했습니다.고 해상도 시야 검사 시스템 (high-resolution vision inspection system) 및 좌표 측정 기계 (CMM) 를 지원하는 pitch모든 생산 대상은 최소 15가지 성능 지표에 따라 100% 검사를 받으며, 모든 배송과 함께 포괄적인 차원 및 순수성 인증 보고서를 받습니다.표준 재품 재고 이상, 특화된 사용자 정의 서비스는 헤테로 융합 (HJT) 태양 전지 전지 및 세 번째 세대의 반도체 기판 (SiC, GaN) 과 같은 신흥 애플리케이션을 다루고 있습니다.비표준 치아 프로파일 수용, 변동된 피치 간격 및 강화된 갈비뼈 구조. 전형적인 설계에서 프로토타입 사이클은 3 ~ 5 일일 정도이며, 진화하는 프로세스 요구 사항에 신속하게 대응 할 수 있습니다.

산업 클러스터 및 글로벌 공급망의 존재

중국의 고순도 쿼츠 가공 산업은 동하이 카운티 주위를 중심으로 한 수직 통합 생태계로 성숙했습니다.젠수 주 젠수 주 젠수 주 젠수 주 젠수 주 젠수 주 젠수 주 젠수 주지역 제조업체는 완전히 자동화된 CNC gravure 센터, 산화수소 불소 용접 역, 그리고 10,000급 깨끗한 포장 시설을 운영하고 있습니다.표준 쿼츠 보트 샘플은 일반적으로 7~10 일 이내에 배달됩니다., 긴급 요청에 따라 5 일 이내에 가속 주문을 달성 할 수 있습니다. 제품은 이제 12 인치 웨이퍼 발사소, 고효율 태양광 생산 라인,MEMS 제조 시설, 대학 연구소, 일본, 한국, 독일, 동남아시아 국가에 정기적으로 수출.전 세계 반도체 및 태양광 산업에 대한 높은 신뢰성 프로세스 지원, 프로세스 안정성 및 비용 효율적인 대규모 제조를 강화합니다.