고정도의 쿼츠 웨이퍼 운반기가 진공 오븐의 핵심 소모품이 된다- 에이미
2026/07/10
고순도 석영 웨이퍼 캐리어(석영 보트)는 어닐링, LPCVD, 산화 및 확산 공정을 위한 반도체 진공로 내부의 필수 설비입니다.
99.995% 용융 실리카로 제작된 이 제품은 금속 불순물이 매우 낮아 고진공 상태에서 웨이퍼 오염을 방지합니다. 매우 낮은 열팽창과 완전한 응력 완화 어닐링을 통해 캐리어는 반복되는 1000~1200℃ 열 사이클에서도 치수 안정성을 유지하여 열충격과 변형에 저항합니다.
불소, 산성 및 운반 가스에 화학적으로 불활성이며 광택 처리된 매끄러운 표면은 입자 이탈 및 칩 긁힘을 줄입니다. 정밀 그루빙은 균일한 열과 가스 흐름을 위해 웨이퍼의 간격을 균일하게 유지하고 필름 두께와 전기적 성능을 안정화합니다.
수평 및 수직 진공관 가열로에 맞게 4/6/8/12인치 웨이퍼의 맞춤형 크기를 사용할 수 있습니다. 국내 석영 캐리어는 수입 품질을 더 짧은 리드 타임과 더 낮은 비용으로 맞춰 칩, 태양 전지 및 광전자 재료의 대량 생산을 지원합니다.
