이전 공급업체의 석영관에서 고온에서 기포가 발생하여 실리콘 웨이퍼를 오염시키고 어닐링 공정 수율을 감소시켰습니다 - Anna
게시일: July 20, 2026
프로젝트 배경
독일의 반도체 소재 제조업체는 다음과 같은 문제에 직면했습니다. 기존 공급업체의 석영관은 고온에서 기포가 발생하여 실리콘 웨이퍼를 오염시키고 어닐링 공정의 수율을 감소시켰습니다. 그들은 수산기 값, 치수 허용 오차 및 내열성에 대한 엄격한 기준을 충족하는 초저 OH 고순도 석영 캐리어가 필요했으며, 이는 1100°C 진공 환경에서 장기간 안정적으로 작동할 수 있어야 했습니다.
우리의 솔루션
1. 진공 탈수산 처리된 용융 실리카를 채택하여 수산 함량을 10ppm 미만으로 제어하고, 각 배치마다 스펙트럼 순도 테스트 인증서를 첨부했습니다.
2. 일체형 CNC 연마 가공으로 치수 허용 오차 ±0.02mm, 웨이퍼 긁힘 방지를 위한 무결점 모서리 처리.
3. 열충격 저항을 강화하기 위한 맞춤형 두꺼운 벽 구조로 반복적인 급격한 가열 및 냉각 후 균열 없음.
협력 결과
500개 첫 시범 주문이 모든 테스트를 통과했습니다. 월 3000개의 석영 보트 안정적 주문과 연간 기본 계약을 체결했습니다. 고객의 웨이퍼 수율은 12% 증가했습니다. 이후 매칭되는 석영 플랜지와 캐리어 튜브도 구매했으며, 연간 판매량은 18만 달러에 달했습니다.
