싱가포르 반도체-미아용 고 투명성 융합 실리카 관측 창 디스크 쿼츠 유리 장

프로젝트 개요

• 고객: 싱가포르에 본사를 둔 반도체 진공 장비 부품 제조업체

• 제품: 고순도 녹인 실리카 관측 창 디스크 (순환 광 광 광장 부품)

• 공급자: 랴누앙가 쉐랑판 쿼츠 제품 회사, Ltd.

• 소재: 고순도 용산 실리카 (SiO2 순도 ≥ 99.99%, 하이드록실 함량이 낮다)

• 적용: 반도체 플라즈마 에치 및 얇은 필름 퇴적 장비의 진공 방의 관측 창, 실시간 시각적 프로세스 모니터링 및 광학적 검사용

• 핵심 프로세스: 정밀 쿼츠 디스크 절단, 양면 광학 등급 랩 및 롤링, 가장자리 캄퍼링, 차원 검사.

환자 의 원래 의 고통점

1표준 유리 뷰포트의 불충분한 전송, 프로세스 모니터링 정확성에 영향을 미칩니다.

고객사는 이전에 진공 방의 관측 창문으로 표준 저철 탄화 유리를 사용했습니다.광전달성은 깊은 자외선에서 가까운 적외선 스펙트럼 (특히 300nm 이하) 에서 급격히 감소했습니다.이것은 처리 중에 플라즈마 상태와 웨이퍼 표면 상태를 정확하게 관찰하는 것을 방지하여 프로세스 매개 변수 조정의 신속성과 정확성을 손상시킵니다.

2고온 서비스 장애를 일으키는 열 확장 불일치

반도체 에칭 및 퇴적 과정은 빈번한 방 온도 사이클을 포함합니다. 표준 유리 창문은 상대적으로 높은 열 확장 계수를 가지고 있습니다.금속 플랜지와 일치하지 않는반복적인 열 주기에 따라 스트레스 균열이 발생하여 평균 사용 기간은 6 개월 미만입니다. 빈번한 교체로 인해 비용이 증가하고 생산 라인 다운타임이 발생했습니다.

3- 표면 완성도 불충분, 광학 검사 정확도에 영향을 미칩니다.

고객은 광학 검사 장비 (전광계, 레이저 간섭계) 를 방의 외부에 설치하여 매우 낮은 표면 거칠성과 높은 표면 수치 정확도를 요구했습니다.이전 공급업체의 제품은 일반 산업용 표면 품질만을 충족시켰습니다 (S/D 80/50), 광학 검출에서 신호와 소음 비율을 저하시키는 상당한 분산 손실로.

우리의 타겟화된 솔루션과 장점

1광대역의 높은 전파를 가진 고순도 합성 실리카 물질

우리는 고 순수성 융합 실리카 물질 (SiO2 ≥ 99.99%) 을 선택했고, 깊은 자외선 (185nm) 에서 가까운 적외선 (2500nm) 까지 넓은 대역의 높은 투명성을 가지고 있습니다.DUV 영역의 전파가 크게 향상되었습니다., 공정 모니터링 및 광 검사에서 정확성과 신뢰성을 보장합니다.

2열순환 안정성이 뛰어난 낮은 열 확장 계수

용해된 실리카의 열 팽창 계수는 5.4×10−7/°C에 불과하며, 표준 유리와는 상당히 낮다. 반도체 진공 챔버에서 반복적인 온도 사이클을 하는 동안,차원 변화는 최소입니다., 금속 플랜지와 뛰어난 열응응을 제공하며 스트레스 균열 위험을 제거합니다. 서비스 수명은 표준 유리 창문보다 3~5배까지 길어집니다.

3높은 순수성, 낮은 불순물 함량 진공 환경 청결성 확보

ppb 수준에서 제어 된 금속 불순물 함량을 가진 저하 하이드록실 융합 실리카 물질을 선택하십시오. 고온 진공 조건에서는 배출 가스 또는 오염이 발생하지 않습니다.반도체 에치 및 퇴적 공정의 엄격한 챔버 청결 요구 사항을 완전히 만족시키는.

협력 결과와 고객 피드백

1프로세스 모니터링 정확도 크게 향상

고 순수성 융합 실리카 창을 채택 한 후 고객은 플라스마 발각 과정에서 방 안의 플라스마 분포와 웨이퍼 표면 상태를 명확히 관찰 할 수 있습니다.프로세스 매개 변수 조정 시기 약 25% 향상, 웨이퍼 생산량은 약 3% 증가합니다.

2. 창문 사용 수명 현저하게 연장

Fused silica windows have been operating continuously in semiconductor vacuum chambers for over 18 months without stress cracks or transmittance degradation—more than 3 times the service life of standard glass windows유지보수 비용과 생산 라인 다운타임이 크게 줄었습니다.

3광학 검사 신호 품질 최적화

광학 수준의 표면 마감 (Ra < 1nm, S / D 40/20) 은 빛 산란 손실을 크게 줄입니다. 스펙트럼미터 및 레이저 간섭 측정기의 신호 대 소음 비율은 약 40% 향상되었습니다.프로세스 제어에 더 정확한 실시간 데이터 지원을 제공.

4안정적인 반복되는 대용량 주문

200개의 시험 주문이 성공한 후, 고객은 월 평균 200~300개의 주문을 가진 연간 프레임 계약을 체결했습니다.융합 실리카 관측 창문은 고객의 표준 부품 조달 카탈로그에 통합되었습니다..