맞춤형 고순도 플랜지 석영 튜브 프로젝트 케이스 | 반도체 CVD 관로 진공 반응기용 플랜지 일체형 용융 실리카관-sara
게시일: June 22, 2026
프로젝트 케이스: 고순도 플랜지드 쿼츠 유리 튜브
사례 개요
이 사건은 해외 반도체 장비 제조업체에 맞춤형 플랜지드 쿼츠 튜브 대량 생산을 포함합니다.CVD 반응 챔버 및 고온 응열 오븐에 대한 통합된 쿼츠 플랜지와 함께 고온 저항성 융합 실리카 튜브우리는 파이프 크기, 플랜지 볼트 구멍 레이아웃, 벽 두께와 고온 스트레스 완화 소름 등파이프 라인 누출의 오랜 문제를 해결, 높은 불순물 오염 및 열 사이클 중에 빈번한 파이프 균열.
협조 를 하기 전 의 고객 의 고통
- 원본 보로실리케이트 유리 파이프가 900°C 이상의 작업 온도에서 변형되어 플랜지 관절 누출과 불안정한 진공 환경을 유발합니다.
- 고열 없이 용접된 일반적인 쿼츠 튜브는 반복된 냉각과 열전환으로 쉽게 균열되고, 교체 비용이 높고 생산 중단 시간 손실이 발생한다.
- 플랜지의 불규칙한 차원 허용, 고객의 금속 밀폐 장착장치와 부적절한 일치, 낮은 처리 생산량.
- 낮은 순수성 쿼츠 원료는 금속 이온 오염을 가져왔고, 웨이퍼 처리 정밀도에 영향을 미쳤다.
우리의 맞춤형 쿼츠 플랜지 튜브 솔루션
- 재료 선택: 99.99%의 합성 고 순수 합성 실리카를 채택하고, 하이드록실 함량이 낮고, 금속 불순물이 없으며, 반도체 초정결 공정과 호환됩니다.
- 통합 핫 웰딩 플랜지: 튜브 몸의 단일 / 두 끝에서 통합 퓨즈 쿼츠 플랜지, 고강성 웰딩 톱니, 내부 스트레스를 제거하기 위해 완전히 앙일링, 열 충격에 저항합니다.
- 정밀 CNC 가공: 맞춤형 외부 지름, 벽 두께, 파이프 길이, 플랜지 외부 지름, 볼트 구멍 위치 & 엄격한 허용 ± 0.02mm의 개도.
- 표면 처리: 불꽃으로 닦은 내부 및 외부 튜브 벽, 거품, 스크래치 또는 마이크로 균열없이 부드럽고 우수한 UV 및 가시광선 전달.
- 구조적 사용자 정의: 단일 플랜지, 이중 플랜지, 닫힌 돔 바닥, 두꺼운 벽 고압 저항 구조를 고객 도면 요구 사항에 따라 지원합니다.
전달 및 실제 운영 효과
우리는 12 일 이내에 샘플 확인, 시험 주문 및 대량 생산을 완료했습니다. 배송 전에 전체 차원 검사, 고온 노화 테스트 및 진공 밀착 테스트를 완료했습니다. 고객 설치 및 장기간 연속 작동 후:
- 높은 진공과 1150°C의 연속 작업 온도에서 누출이 없습니다.
- 100개 이상의 열순환 테스트를 거친 후 균열이 발생하지 않으며, 사용 기간은 3배 이상 증가합니다.
- 불순물 가출이 0개, 웨이퍼 제품 생산량이 16% 향상
- 표준 플랜지 크기는 고객의 기존 클램핑 및 밀폐 부품과 완벽하게 일치하여 장비 조립 시간을 크게 줄였습니다.
