사례 연구: 융합 실리카 오븐 튜브-에미
게시일: June 24, 2026
1고객 배경
8인치 전력 반도체 제조업체는 산화와 도핑을 위해 1050~1180°C의 수직 확산 오븐을 사용합니다.적외선 송출성 및 디비트리피케이션 저항성.
2일반 실리카 튜브의 원본 문제
이전 JGS1 화염으로 닦은 튜브는 여러 가지 생산 결함을 일으켰습니다.
- 높은 OH 함유량은 적외선 침투력이 떨어지고 온도 필드가 균일하지 않아 웨이퍼 양이 낮아집니다.
- 높은 금속 불순물은 빠른 비트리화와 빈번한 균열을 유발합니다. 튜브는 45 일마다 교체해야합니다.
- 매트 화염으로 닦은 견과류는 진공 밀폐가 떨어지고 공정 가스 농도가 불안정합니다.
3최적화된 솔루션: FS03 실리카 튜브
- 재료: FS03 진공융합 실리카, SiO2 ≥99.995%, OH− <10 ppm, 불순물이 매우 낮다.
- 표면: 튜브, 플랜지 및 쿼츠 견과류에 대한 완전히 투명한 거울 닦기 (화염 닦기 없음).
- 구조: 두꺼운 벽, 높은 열 충격 저항을 위해 스트레스 완화 용접.
4시험 및 생산 결과
- 오븐 내부의 온도 차이는 ±12°C에서 ±3°C로 감소합니다.
- 웨이퍼 생산량은 6.8% 증가; 서비스 수명은 45 일에서 180 일으로 연장되었습니다.
- 진공 누출 실패 95% 감소; 더 적은 튜브 교체 생산 중단.
5결론
FS03 맑은 닦은 오븐 튜브는 온도 균일성 및 오염 위험을 해결하고 유지 보수 비용을 절감하고 반도체 열 공정에 대한 안정적인 대량 생산을 촉진합니다.
